圖：華邦化學(xué)生產(chǎn)的“氣體純化器”產(chǎn)氣純度達(dá)到9N級(jí)，成功打破了國外長期壟斷，為多項(xiàng)集成電路國家重點(diǎn)項(xiàng)目提供了實(shí)際配套支持。圖為華邦化學(xué)研發(fā)人員在分析試驗(yàn)參數(shù)。 受訪者供圖

　　近年來，中國大力推進(jìn)新型工業(yè)化，加快制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)，涌現(xiàn)出超過14萬家專精特新中小企業(yè)，其中，專精特新“小巨人”企業(yè)達(dá)到14600多家，他們靠獨(dú)門絕活打破外國技術(shù)壟斷，往往把單一品類的“小市場”做成了享譽(yù)全球的“大生意”，進(jìn)軍全球大市場。大連華邦化學(xué)就是其中之一。他們的科研團(tuán)隊(duì)自2013年起深耕氣體純化器設(shè)備研究，成功打破了國外長期壟斷，研制出產(chǎn)氣純度可達(dá)9N級(jí)的國產(chǎn)氣體純化器，不僅為多項(xiàng)集成電路國家重點(diǎn)項(xiàng)目提供了實(shí)際配套支持，還為中芯國際、京東方、英特爾、SK海力士等國內(nèi)外行業(yè)巨頭供應(yīng)設(shè)備與服務(wù)。\大公報(bào)記者 宋偉

　　高純度氣體純化設(shè)備，對于超大規(guī)模集成電路、平面顯示器和半導(dǎo)體器件等生產(chǎn)而言，是不可或缺的關(guān)鍵配套裝備。其生產(chǎn)的氣體純度高低直接關(guān)系到光電子、微電子元器件的質(zhì)量與集成度。簡體來說，半導(dǎo)體制程中需用到特殊氣體（如氮?dú)狻鍤饣驓錃猓┻M(jìn)行蝕刻、沉積等步驟，必須達(dá)到極高純度（例如99.9999%、6N級(jí)以上），否則微量雜質(zhì)可能導(dǎo)致晶片缺陷。

　　美歐壟斷，窒礙進(jìn)步。長期以來，氣體純化器設(shè)備的生產(chǎn)技術(shù)被美國、日本、韓國等國家所壟斷，雖然國產(chǎn)氣體純化器4N-5N級(jí)與歐美發(fā)達(dá)國家6N級(jí)以上存在顯著代差，但超越突破的動(dòng)能一直在積累。

　　實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代 助力祖國攻芯

　　大連華邦化學(xué)的出現(xiàn)打破了這一局面?！拔覀兩a(chǎn)的氣體純化器產(chǎn)氣純度高達(dá)99.9999999%（9N級(jí)），技術(shù)水平達(dá)到國際一流?！毖邪l(fā)總監(jiān)錢吉博士表示。從事相關(guān)研究逾20年，錢吉帶領(lǐng)的科研團(tuán)隊(duì)自2013年起便開始了創(chuàng)業(yè)之旅。如今，國產(chǎn)9N級(jí)高純度氣體純化設(shè)備不僅替代進(jìn)口同類產(chǎn)品，成功打破了國外長期壟斷，更為多項(xiàng)集成電路國家重點(diǎn)項(xiàng)目提供了實(shí)際配套支持。

　　企業(yè)負(fù)責(zé)人劉皖南表示，華邦化學(xué)當(dāng)前在國內(nèi)外全產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)袌龈采w率超過85%、占有率突破55%，實(shí)際產(chǎn)線運(yùn)行設(shè)備數(shù)量超2000臺(tái)／套。“去年，華邦化學(xué)年產(chǎn)值達(dá)5.1億元，今年前兩個(gè)月各項(xiàng)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)同比增長35%，發(fā)展勢頭十分強(qiáng)勁。憑借卓越性能與可靠性，企業(yè)已為中芯國際、京東方、英特爾、SK海力士等國內(nèi)外行業(yè)巨頭供應(yīng)設(shè)備與服務(wù)?！?/p>

　　大國重器穿上“智能防護(hù)衣”

　　專利封鎖，倒逼創(chuàng)新。從渤海之濱一路向南，相距3000公里的南海海域，總高338.5米的亞洲第一深水導(dǎo)管架“海基二號(hào)”，正穩(wěn)穩(wěn)矗立在324米深的海床之上。鮮為人知的是，為這臺(tái)海上大國重器穿上“智能防護(hù)衣”的也是一家專注海洋科技領(lǐng)域的“小巨人”。

　　歐美長期以來壟斷高端涂層材料和防腐配套體系，采用標(biāo)準(zhǔn)壁壘、材料禁運(yùn)、專利封鎖等手段，企圖制約中國海洋工程防腐抗蝕技術(shù)發(fā)展。

　　重重挑戰(zhàn)下，科邁爾科研團(tuán)隊(duì)持續(xù)自主創(chuàng)新，研發(fā)出“海基二號(hào)”的ICCP和HMS兩大系統(tǒng)。大連科邁爾研發(fā)負(fù)責(zé)人朱東旭介紹說，“‘?；?hào)’導(dǎo)管架平臺(tái)有超過75%的部分在海面以下，要經(jīng)受風(fēng)浪及內(nèi)波流等惡劣海況的沖擊?？七~爾自主研發(fā)的張緊式外加電流陰極保護(hù)及監(jiān)測系統(tǒng)（ICCP）和基于數(shù)字孿生的結(jié)構(gòu)健康管理系統(tǒng)（HMS）兩大核心產(chǎn)品在“海基二號(hào)”上發(fā)揮作用，通過外加電流腐蝕防護(hù)、實(shí)時(shí)監(jiān)測、評(píng)估預(yù)警等數(shù)智化手段，輔助制定科學(xué)運(yùn)維方案保障深水海洋平臺(tái)安全運(yùn)行，就像為導(dǎo)管架平臺(tái)穿上了‘智能防護(hù)衣’。”